研究園區:2020年產學計畫- A-PLUS亞智 電子報編輯-3A林湘婷、2B張晉薰
元智大學機械系參與亞智(Manz)科技股份有限公司向經濟部工業局申請之A+計畫,亞智為德國一家全球領先的高科技設備製造商,專精於電子裝置及零組件、太陽能電池及模組,鋰離子電池等生產設備。
子計畫一 : 狹縫式塗佈之流場分析,由林育才和王謹誠兩位教授擔任計畫主持人,狹縫式塗佈是一高精度、高效率的塗佈方式,應用範圍極廣,例如:磁帶、醫療、膠帶及電子工業等,近年來更普遍應用於大尺寸面板與太陽能電池。
子計畫二 : 化學槽液濃度管理,由謝建興和孫安正兩位教授擔任計畫主持人,在積體電路、TFT-LCD等半導體產業中常使用鋁或鋁合金作為柵極(gate),本計劃即與亞智科技股份有限公司合作設計一台濃度量測系統(Concentration Measurement System (CMS))的機台,如下圖一所示,用來測定這三種酸的濃度,並利用實驗室重複滴定三種酸的不同濃度來產生大量數據,再透過類神經網路(Artificial Neural Network(ANN))模型進行鋁酸濃度校正,將提高酸的量測準確度。
CMS滴定各種不同濃度的鋁酸
子計畫三 : 塗刀預塗輪裝置設計與製造,由何旭川和陳永樹兩位教授擔任計畫主持人,塗刀預塗輪裝置為狹縫式塗刀於塗佈高品質薄膜前之裝置,本計畫旨在設計並製作合乎規格與需求之塗刀預塗輪裝置如圖二所示,各刮除光阻機構均為可調式設計,提供使用者依個別需求,調整高度、角度與前後距離等參數,獲得最佳之刮除光阻效果。
塗刀預塗輪裝置