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Instrument function	使用電漿對靶材進行離子轟擊，將靶材表面的原子撞擊出來。這些原子以氣體分子型式發射出來，並到達所要沉積的基板上，再經過附著、吸附、表面遷徙、成核等過程之後，在基板上成長形成薄膜。
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Service item
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