Instruments

Instrument code
Brand model
Instrument function	藉著對被蒸鍍物體加熱，利用被蒸鍍物在高溫（接近其熔點）時所具備的飽和蒸氣壓，來進行薄膜的沉積。多功能蒸鍍機，舉凡Al、Cr、Au、Ti、Ni、Ta、Pt、SiO2等都可以使用於此系統
Specification
Service item
Precautions
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